4月19日(月)-22日(木)開催形態:オンライン
石川 哲也理化学研究所
山内 和人大阪大学
理化学研究所放射光科学研究センター
大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
精密工学会超精密加工専門委員会
2021年4月19日-21日
2021年3月上旬
2021年1月21日
2020年12月21日
2020年10月14日